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沃飞科技创新全自动特气柜,筑牢半导体制程工艺安全防线

沃飞科技创新全自动特气柜,筑牢半导体制程工艺安全防线

发布时间:2021-04-14
    近几年,随着国内智能移动设备、自动驾驶汽车、云服务数据、5G通信、环保新能源等强劲的市场需求,促进了包括半导体集成电路芯片、液晶面板、光伏等行业产品的迅猛发展。这些领域的产业链大致可以分为上游的高纯材料,中游的芯片制造以及下游的终端产品。其中,上游的高纯材料制造和传输与中游的芯片制造,包含了大量复杂的工艺流程,而关键的工艺系统就是流体系统。  由于集成电路芯片制造的工艺设备需要大量工艺气体参与反应,其中强腐蚀性的气体有氯化氢、三氯化硼、溴化氢等。对于此类腐蚀性气体应用,应当采用高质量的特气柜产品,筑牢安全防线。  在特气柜研发制造上,目前行业表现出色的当为沃飞科技。长期以来,沃飞科技严格按照ISO9001标准执行各项管理,产品有多项国家专利及CE/ROHS/SIME认证,凭借着卓越的研发能力与精锐的技术力量,能够围绕客户提供大宗气体系统、电子特气系统、实验室气路系统、工业集中供气系统、洁净气体管道、高纯化学品供液系统、Local Scrubber尾气处理系统等工程项目设计安装交钥匙模式高性能和高质量的解决方案。经过多年的行业技术积累和稳健快速发展,公司主营业务和产品在市场上积累了良好的业绩和口碑,获得客户的高度认可。  沃飞科技紧跟半导体行业的发展趋势,利用自身丰富的设计能力和实践经验,贴近客户应用并不断创新。其全自动特气柜(GC)是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性特种气体供应而设计的特气设备,在感受到外界环境变化达到阈值时会有信号输出至中控室,并发出警报,设备会自动切断,确保生产安全。  其以PLC为控制主体,配合触摸屏进行系统显示和设定,实现设备安全有效的运行。其内部PLC程式设计的安全联锁功能、高纯阀件的合理选择和布局,既满足了半导体工艺生产过程中对特殊气体连续供给和高纯度的要求,同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全,有助于企业全面落实企业安全生产责任制,强化安全生产,对重大危险气体源头进行管控,从源头上防范安全生产责任事故的发生。  该设备拥有SIME 2认证,在产品品质和功能方面值得信赖和放心,第一时间发现泄漏并阻止泄漏气体扩散,及时报警处理,避免更大事故的发生,还可根据不同的气体特性和气体使用要求,搭配不同的盘面设计,全面满足客户的行业需求。  在半导体等行业制程工艺中,需要“安全”和“稳定”地使用特种气体,普通的气瓶柜无论是在材质上还是功能上都无法满足要求,所以半导体行业可配置有SEMI S2认证的沃飞科技电子特气柜。选择沃飞科技,实力品牌质量有保障!
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