特种气体尾气处理方式特种气体对身体健康以及环境都会产生很大的危害，如何处理特气尾气，用什么设备处理，这里将会进行深入介绍。特种气体尾气现状尾气作为特气系统的衍生物不可避免的存在。过去，在很多高校，由于实验室用气量不大，建设单位的业主没有充分意识到尾气的排放问题，随着更多半导体工厂雨后春笋的涌现，生产用特气尾气的排放越来越多的引起了重视。那么怎么排放，如何排放成为摆在很多用户面前的问题。同时，尾气处理装置如何选配，必须具备什么功能，沃飞科技通过实际项目经验，给大家一 一阐述。特气系统尾气排放处理装置的处理方式：尾气处理装置的类型，应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择，不相容特种气体应分别设置尾气处理装置;尾气处理装置应靠近GR、GC等特种气体设备布置;特种气体尾气处理方法宜采用干式处理吸附、湿式洗涤、加热分解处理、燃烧处理、等离子分解处理、稀释处理及以上几种方式的组合。Local Scrubber废气处理柜Local Scrubber(本地式小型废气处理柜)是近年来特气系统使用非常广泛的尾气处理设备，该设备有电加热燃烧、水洗涤等多用途组合，尾气经过设备处理后，再进行排放，也是非常环保的生产方式。