每当谈及集成电路制造,业内人士大多都会说到晶圆、光刻机等设备。然而在芯片制造领域,有一个领域时常易于被忽视却有着至关重要的作用,那便是气体。

电子气体之所以尤为关键,在于芯片制造过程中离不开它的身影。一片硅晶圆在抛光处理及一系列严格筛查后,还需要经历光刻、薄膜、刻蚀、清洗、注入等几大工艺,近千个步骤才能最终成为一个芯片。在这个过程中,几乎每个环节都少不了气体的介入。而从单个芯片生成到最后器件的封装,也都不离不开电子气体。

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半导体器件制造所涉及的电子气体,在纯度与精度上都有着十分严苛的要求。一旦某一种特定杂质超标,都可能直接导致产品的严重缺陷,甚至因为不合格气体的扩散,导致整个生产线被污染或报废。因此可见,电子气体的品质直接影响了半导体器件性能的好坏,也对气体供应商形成了较高的技术壁垒。

纵观过去,电子制造行业所需的部分高纯气体、稀有气体及混合气体大都需要依赖于进口,而沃飞科技WOFLY却在创新发展中打破了这一局面。在服务电子制造行业方面,公司已有多年的丰富经验,始终将应用于电子半导体领域的特种气体及大宗气体作为重点研发方向,能够为全球众多知名的电子制造商供应各类大宗高纯气体,包括氮气、氢气、氧气、氩气、氦气等,确保半导体器件生产环境中电子气体供应的质量。

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公司在系统安全、供气稳定、连续不中断的前提下,严格保证气体的品质及可靠性,包括对气体的压力、露点、杂质、颗粒度、流速等都有严格精度要求,每一步均有严格的技术参数要求和质量控制措施,确保运输和使用过程中产品品质稳定,避免二次污染。此外,公司还可为电子制造行业提供一站式的整体解决方案,满足各种工艺环节的应用需要。同时,丰富的行业服务经验与高效的执行力,让公司能够充分满足电子制造行业严苛的用气需要,缩短供货周期,降低成本, 提高供货稳定性。

随着近些年来国内集成电路晶圆厂日益增多,及原有晶圆厂产能扩充和技术升级,电子气体迎来了新一轮的增长机遇和挑战。因此,沃飞科技积极应对芯片技术飞跃对气体品质所带来的挑战,凭借其丰富的应用经验、领先的工艺水平和可靠稳定的供应,积极支持产业的发展,携手众多国内外领先的集成电路制造企业共同探索电子气体供应的关键意义,助力电子设备开发环境中所需的电子气体的品质供应,全力推动半导体产业的进步,赋能"中国芯"战略。