VMB阀门分配箱(Valve Manifold Box),是一种内嵌多支路,实现高纯气体或液体分流的阀门箱,它能让气体从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点, 气压可被单独地调控, 从而满足个别应用需求。它还提供循环清洁功能和真空抽气功能, 因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维护VMB的每一部份。除此以外,设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下,吹扫某一支路或对其进行真空抽气。VMB 被设计且制造成为单一气体使用,不能让两种气体共同使用。专为腐蚀性、毒性等危险性气体供应。阀门盘VMP(Valve Manifold Panel)与VMB区别在于它使用的开放式管道分配部件,一般用于惰性气体。

目前因制程越来越先进,所以产生BSGS的系统,而未达到供应的稳定,且可以一台分配到多台VMB,所以在中间都会在增加VDB 。VDB(Valve Distributing Box)就是VMB的总管,主管路到FAB内先接VDB,再分到各各VMB内,其中的VDB有些厂叫做FDB(Flow Dispense Box),流量分配盒,一般都是用在流量需求特别大的气体供应上。VDB是进二(有一路做BACKUP)路管道,出多路管道。惰性气体可选用VDP(Valve Dispense Panel)。

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阀门箱VMB和阀门盘VM在硬件上具有几大部分,分别是人机界面、PLC电磁阀、警急遮断按钮、LED指示灯、紫/红外线火焰感知器、差压设定开关、差压计、继电器、电源供应器、温度开关、I.A过流量开关等。其中,人机界面作为人与控制器的控制与沟通界面,一方面可显示系统目前的状况,还可接受操作人员下达的指令,作为系统运作的确认。而紫/红外线火焰感知器可以在感测到火灾发生时作动,将讯息传至PLC处理;差压设定开关是当箱体与大气压之差压未达设定值动作,可以将讯息传至PLC处理;温度开关在感测到箱体温度高于设定值时,能够将讯息传至PLC处理;I.A过流量开关是当驱动气动阀之软管松脱或爆裂导致流量过大时,可将输出讯号告知。

历经多年的技术迭新与系统升级,目前阀门箱VMB和阀门盘VMP安全功能显著,其部分操作应用既满足了工艺生产过程中对高纯介质的连续供给和高纯度的要求,同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。比如按下紧急停止按钮即可关断所有的气动阀;当远程紧急停止动作驱动则即可关断所有的气动阀;当气动阀驱动压力不足时则会输出警报告知,设定压为 0.4 ~ 0.63 Mpa;当侦测到箱体环境温度高于设定值时则会输出警报告知并且自动关闭所有阀件,设定温度为70℃;当感测到火灾发生时作动,则会输出警报告知并且自动关闭所有阀件;当管路内的流量过大导致驱动过流量开关(EFS),则会输出警报告知并且自动关闭该使用侧的阀件;当箱体内的压差过小的状态下,则会输出警报告知,设定压差为50 Pa以上。

长期以来,作为专业从事气体系统工程设计安装、技术服务咨询和配套产品生产销售为一体的国家高新技术企业,沃飞科技致力于为先进制造企业及研发机构提供高纯工艺系统解决方案,业务涵盖了整个系统方案设计、材料和设备供应、安装、测试、调试和系统托管服务,工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医药、各类实验室、研究所、标准检测等高科技行业,锐意为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案,在成为行业领先的专业系统集成服务商的道路上稳健快速发展,逐步成为行业领先的整体系统供应商。