SEMI S2 标准涵盖了半导体制造设备的环境、健康及安全条件,是一个综合性的标准。代表了半导体厂家的基本安全要求,而半导体行业离不开特种气体,所以保证安全稳定输送特种气体的特气柜也需要拥有SEMI S2认证。

因为半导体行业涉及到很多特种气体、化学品及电气、厂务、游离及非游离的辐射,所以在设备厂商进行设计时要引入SEMI S2标准,也即为EHS标准。这一点是非常重要的,如果处理不好,下游用户在使用是时候就很容易导致事故甚至灾难。

特气柜在SEMI S2中认证哪些内容呢？

SEMI S2在认证中综合考虑了与设备相关的使用者文件、危险性警告标志、安全连锁装置、紧急停机、电气安全、消防安全、人体工学、危险能量隔离、机械设计安全、地震保护、自动机械设备、环境因素、排气、噪音等内容。以确保设备本身安全及对环境、对人员的安全性,

沃飞WOFLY全自动特气柜（GC）拥有SEMI S2认证,是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性特种气体供应而设计的特气设备,以PLC为控制主体,配合触摸屏进行系统显示和设定,实现设备安全有效的运行,基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断（当设定报警信号被触发时）,还可根据不同的气体特性和气体使用要求,搭配不同的盘面设计,以满足半导体行业需求。

以上,便是关于特气柜SEMI S2认证的必要性和SEMI S2标准的简单介绍,感谢您的阅读,更多内容,请关注我们！