WOFLY全自动特气柜（GC）是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性特种气体供应而设计的特气设备,通过SEMI S2认证,基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断（当设定报警信号被触发时）,主要用于安全稳定输送特种气体。

现在我们来认识一下沃飞WOFLY特气柜上的一些主要组成部分：

1.气动阀气源：一般以GN2来进行控制,不建议使用CDA（clean dry air）,因GN2的供应系统比较稳定,不会因停电或运转设备故障而中断,此气源是用于自动或半自动的气动阀件开关。

2.手动控制阀：主要用于第二道防护作为第二次确认或检修用,一般于供应气体的出口端。

3.逆止阀(单向阀)：防止特气倒灌到清洁用的PN2（高纯氮）系统和抽气用的GN2（普氮）系统。

4.调压阀：用于调整供应系统的供应压力。

5.压力传感器：是防护系统中非常重要的零件,透过它我们可以判断管路是否泄漏,相关阀件是否正常开关,同时亦可检知钢瓶的剩余量。

6.真空产生器：利用GN2快速流动产生吸力,将管路中的气体抽出,以到达抽气的目的。

7.气体过滤器：一般在钢瓶出口端会装比较粗的过滤器,在出端会装比较细的过滤器,有效过滤气体中的颗粒,过滤器较不易吹扫,所以一般不建议装在常吹扫的管路中。

8.过流量侦测器：对管路异常流量进行侦测,若是超过设定值,即判断管路上可能大量泄漏,进而关闭供应系统停止供气。

9.限流孔：是一种简易又有效的过流量控制装置,用以限制大量气体流过,一般使用于出口处,其主要功用是避免大量的特殊气体排出,区域性的废气处理机无法处理的情况发生。

以上,就是关于超高纯电子特气系统中沃飞WOFLY特气柜的主要组成部分的介绍了,感谢您的阅读,沃飞科技, 专业从事气体系统工程！