无论是从国家出台的新政策,还是芯片行业的国际形势,都可以看出半导体芯片行业要大力发展的趋势,生产中尾气废气的处理问题日益突出,外延工艺中尾气处理设备local scrubber的使用也将成为一种常见的现象。

其中处理废气尾气无明火,无尘室中不产生火源的吸附式尾气处理设备,是半导体制程外延工艺中尾气处理的常用设备,通过吸附材吸附治理废气中需处理的气体部分,再通过变色球上的指示剂来检验废气的排放是否合格。

变色球指示剂的检验原理：

指示剂是利用载体（活性氧化铝）的吸附能力将变色药剂附着在载体的表面,所以变色球的颜色就会随着氢键之浓度增加度的不同产生颜色的变化。

当制程气体未破出前,通过的气体是中性气体不会含有氢键,所以变色球的颜色不会变化；制程气体破出后,通过的气体含有H而产生颜色变化（PFCs是中性气体不会改变变色球的颜色,所以PFCs气体的破出不能用变色球来辨别）。

上图便是变色球指示剂在不同浓度下的颜色变化,可以通过变色球的颜色来检验废气处理效果和判断吸附材是否还有效,从而保证尾气处理设备local scrubber的吸附效率和效果,实现特气废气的治理,避免环境遭受污染。

以上,便是关于外延工艺尾气处理设备local scrubber的简单介绍,感谢您的阅读！