半导体制造生产中会使用到多种特殊气体,随之产生的特气尾气需先通过尾气处理装置Local Scrubber做处理,再接续至厂务端做第二道处置后排出。这样是为了避免在冗长的排气过程中引发非预期的气体泄漏,局部聚积或相互反应等意外,以减少厂务端污染物处理上的负荷,达到对半导体业空气污染管制及排放的标准,避免对环境和周边人员造成危害。

吸附式尾气处理装置Local Scrubber几乎能够处理所有小流量的气体（部分PFC气体除外）,同时因其无需明火、不产生废水、低能耗的性能特点,是特气尾气处理的常用装置。

在吸附式尾气处理装置 Local Scrubber 中吸附材以高孔隙率和高密度填充提升入口出口压差,因此尾气出口端增加变频风机可起到以下作用：

1、提升寿命：变频风机可增加抽气压力,以增加药剂填充数量,提升使用寿命。

2、稳定压力：变频风机可根据设定压力值或厂务端气压自动调整风机转速,稳定设备内压力值和气体流量,保证处理效率稳定。

3、避免回流：制程中若含有易阻塞管道和药剂的粉尘,PLC会依据设定压力,自动调整风机转速维持入口压力值,避免废气回流,造成系统及设备损害。

以上,就是在半导体制程工艺吸附式特气尾气处理装置Local Scrubber 中变频风机的作用,感谢您的阅读！