废气处理在半导体制造企业中是一个不可或缺的环保环节,作为大规模、代表先进制造技术的产业,未经过尾气处理设备（Local Scrubber）治理的废气排放将会对环境造成的污染、对先进半导体制程造成很大的影响,即AMC问题,所以要积极做好废气排放的处理和控制工作。

选择尾气处理设备Local Scrubber 的原因：

在半导体制程生产中,这些制程后残存的气体从无尘室通过真空管出来后,需经尾气处理设备（Local Scrubber）通过燃烧或吸附式等方法先行处理,再排入中央废气处理系统。

这是因为半导体制造工作区域离中央废气处理系统距离较远,因此这些废气在输送至中央废气处理系统前,在冗长的排气过程中,可能会因为气体特性导致引发非预期的气体泄漏,局部聚积或相互反应,造成风管堵塞、管路腐蚀等问题,严重者甚至引发火灾爆炸、停止生产和危害现场工作人员的工作安全的后果。

吸附式尾气处理设备的特点：

1.适用范围广。吸附式尾气处理设备几乎可处理所有小流量的废气。

2.无废气产生。通过吸附桶完全处理设备尾气,不需要耗用水资源,没有废水处理问题；

3.安全隐患少。处理时,没有明火,在无尘室内不产生火源；

4.节省能源。没有高耗能的需求;

通过上面的解释,相信您应该对半导体制造企业选择尾气处理设备（Local Scrubber）的原因有了些了解,社会的进步对半导体企业提出更高的环保要求,也促进国内半导体废气处理技术的进步和发展。感谢您的阅读！