废气处理是制造过程中经常被忽视但至关重要的组成部分,历史上几个严重的事故,就有发生在没有安装减排、尾气处理设备的工厂中。但如今,尾气处理仍常常被工厂看作为成本,而不是安全问题。

工厂安装尾气处理设备有三个主要原因：

第一、是健康和安全,半导体、光伏和LED等工厂许多使用的工艺气体是易燃、易爆的如H2或SiH4,和有毒或者腐蚀性的如COF2,HBr,F2等,在与人或野生动物接触之前必须进行处理。

第二、是许多使用的气体对环境是危险的,如CF4,其寿命约为 50,000年的气氛,全球变暖潜力为二氧化碳的6.500倍。

第三,是大量废气在气流中含有大量的颗粒或灰尘。 例如,这种灰尘通常在基于硅烷（SiH4）的沉积过程中产生,反应的硅烷产生作为废物的非常细的粉尘的二氧化硅。 这种灰尘有可能扰乱设备排气,导致制造工厂意外停机。 使粉尘难以处理的是粒径通常为亚微米,并且容易通过湿式洗涤器或物理过滤器而不被困在洗涤液中。

因此,尾气处理设备是制造设施的重要组成部分。典型的尾气处理设备位于子晶圆厂中,放置在真空泵之后。工艺废气在无尘室机台端(POU)反应被排放出后,即由真空Pump抽至Local Scrubber做处理,避免在冗长的排气过程中引发非预期的气体泄漏,局部聚积或相互反应。

待处理过后的气体再接续至厂务端中央处理系统做第二道处置,以减少厂务端污染物处理上的负荷,达到对半导体业空气污染管制及排放的标准。

上面的三点原因就是关于半导体、光伏和LED等工厂安装尾气处理设备的主要原因了,尾气处理设备的安装,不管是从废气治理还是生产安全等方面,都是生产制造中的必备设备。感谢您的阅读！