VMB阀门箱产品介绍：

VMB阀门分配箱,是一种内嵌多支路,实现高纯气体或液体分流的阀门箱。

VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点,压力可被单独地调控,从而可同时满足不同应用的需求。它还可提供吹扫功能和真空抽气功能,因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维

VMB的每一部份。除此以外,设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下,吹扫某一支路或对其进行真空抽气。

半自动VMB阀门箱介绍：

半自动分配箱（VMB）：通过采用PLC控制,通过设备安装的压力传感器、气动阀等装置,实现设备安全有效的运行。其内部PLC程式设计的安全联锁功能和高纯阀件的合理选择和布局,既满足了半导

体工艺生产过程中对高纯介质的连续供给和高纯度的要求,同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。

适用气体：易燃性,腐蚀性,毒性气体,诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。
适用行业：Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校实验室等。

面板基本配置：

进口手动隔离阀
进口气动隔膜阀
进口压力传感器
吹扫压力表
单向阀
减压器
过滤器

面板可选配置

真空发生器
测试端口阀门