结构特点:

· 专为特气关键制程工艺设计

· 面板式整体结构便于安装

· 主体采用316L不锈钢材质,更适合于半导体制程特气使用

· 金属膜片减压结构

· 硬密封结构,避免材质老化污染

· 采用膜片阀控制,流道简洁,操作可靠,使用寿命长

· 阀组采用焊接与VCR结构连接,大幅避免泄漏。

· 可选用报警信号压力表结构,供气欠压提供报警信号

· 特气系列减压器

· 配安全阀

· 进口减压阀及管路经耐压测试和泄漏测试

· 2"不锈钢压力表,读数清晰

· 所有膜片阀旋钮带"开启/关闭"指示窗