专业研发设计制造高纯工艺气体系统电子特气工艺尾气处理设备local scrubber

WFS-100F吸附式local scrubber 尾气处理设备可处理气体种类包括半导体、液晶以及太阳能等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中使用的特气,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。