依据其化学性质,特气可分为惰性气体、可燃性气体、自燃性气体、氧化性气体及腐蚀性气体几种。

工业上常用的惰性气体有CF4、C4F8、SF6、Ar、CO2、He、Xe、Ne等；可燃性气体有AsH3、B2H6、NH3、TEOS、TMB；自燃性气体有SiH4、PH3等；氧化性气体有NO、NF3等；腐蚀性气体有HCl、HBr、BCl3、BF3、SiCl4、POCl3、PF3、PF5等。值得注意的是,很多特气都同时兼具以上两种性质,如SiH2Cl2、SiHCl3同时具有可燃性和腐蚀性。再如Cl2、F2同时具有腐蚀性和氧化性。

一般半导体、光伏等行业在其主体厂房一层都建有专门的特气房,并根据所用气体的种类和性质划分不同的气体间。如果厂房所用特气为高毒、易燃易爆且存储量达到一定值时,则需在离厂房安全距离以外的区域建立气站为产线供气。

气站内根据特气的分类划分不同气体间,如惰性气体间、可燃性气体间、自燃性气体间、腐蚀性气体间。各气体间选择不同的特气供应设备、特气监测设备及防护设施。如惰性气体间需安装氧气侦测器,实时监控房间内氧气浓度,若低于安全限制能及时报警。由于可燃及自燃性气体一旦发生泄漏,则存在爆炸的风险,因此可燃及自燃性气体间在设计上需考虑防爆、消防灭火设施等因素,同时其供应设备内也应配制火焰探测器或者温度探头。

特气根据其性质进行分区管理,不但便于特气运行人员日常操作,发生异常情况能及时处理,而且一旦发生事故则可降低事故风险,减小叠加伤害。

以上就是沃飞关于特气管道知识：特气的化学性质分类的一些见解,希望能给有需要的人士提供参考