特气控制面板的设计

特气控制面板是气路系统中重要的一个控制单元,这里主要围绕易燃易爆性、毒腐性、面板控制等介绍,包括特气面板设计规范和作用等内容。

特气输送面板介绍

特气输送面板是气源部分非常重要的控制单元。一般工艺气体从钢瓶出来,经过高压控制盘面时,都实现了一次调压、过滤、流量稳定、吹扫、抽真空、压力侦测等功能。不同的气体和工艺需求,可以根据实际情况定制具体功能。现阶段,越来越多的高校实验室引入了ICP、PVD、PEVCD等设备进行芯片镀膜、刻蚀方面的研究,这些工艺气体多是硅烷、乙烯、溴化氢等毒腐、易燃易爆性气体,对于气源的控制要求非常高,也给供气面板提出了很多要求。

特气面板设计规范指南

面板阀门

1、自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀门,并应为常闭气动阀门,位置应靠近气瓶;

2、气瓶压力大于0.1MPa的自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面 板应设有过流开关;

3、自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫、辅助抽真空装置,真空管路应设止回阀;

4、气体面板应设置工艺气体排气口。

可燃性特气柜设计参考

气瓶柜

硅烷气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/H,且气柜的负压应连续监控;自燃性特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器;可燃性特种气体的气瓶柜应设置谁喷淋系统;自燃性特种气体的气柜应在气瓶之间设置隔离钢板。

VMP阀门盘气体面板设计的意义

输送控制面板的设计对于整个供气系统的便捷性、生命安全都起到非常重要的控制作用,在设计初期,业主需要将工艺、要求等提供给设计院作为设计依据,同时,在建设周期,有必要参考相应的规范将要求落实到施工当中去。