特种气体尾气处理方式

特种气体对身体健康以及环境都会产生很大的危害,如何处理特气尾气,用什么设备处理,这里将会进行深入介绍。

特种气体尾气现状

尾气作为特气系统的衍生物不可避免的存在。过去,在很多高校,由于实验室用气量不大,建设单位的业主没有充分意识到尾气的排放问题,随着更多半导体工厂雨后春笋的涌现,生产用特气尾气的排放越来越多的引起了重视。那么怎么排放,如何排放成为摆在很多用户面前的问题。同时,尾气处理装置如何选配,必须具备什么功能,沃飞科技通过实际项目经验,给大家一 一阐述。

特气系统尾气排放处理装置的处理方式：

尾气处理装置的类型,应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择,不相容特种气体应分别设置尾气处理装置;

尾气处理装置应靠近GR、GC等特种气体设备布置;

特种气体尾气处理方法宜采用干式处理吸附、湿式洗涤、加热分解处理、燃烧处理、等离子分解处理、稀释处理及以上几种方式的组合。

Local Scrubber废气处理柜

Local Scrubber(本地式小型废气处理柜)是近年来特气系统使用非常广泛的尾气处理设备,该设备有电加热燃烧、水洗涤等多用途组合,尾气经过设备处理后,再进行排放,也是非常环保的生产方式。