2020-03-30 11:08:41 责任编辑：特气管道安装公司0
特气系统到底有何作用?一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中,全部工艺大约要使用50种不同的电子气体.其中大部分为特种气体,小编就特气系统该怎么选择?让沃飞科技来告诉你吧!
特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。
简单特气供气系统
简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单,通常不需要连续性供气,对气体供应系统的投资预算低。
由于气体流量小,不经常使用,特种气体气源多采用普通钢瓶（<50L）。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板；配置继电器控制,自动切换,手动吹扫,手动放空,有害性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统,有些甚至用单瓶系统。全部气体共用一个气体房,甚至没有气体房,特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道,或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。
常规特气供气系统
常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂,50MW以下的太阳能电池生产线,发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻,系统配备在满足安全的前提下尽量简单,节省投资。
特种气体采用普通钢瓶（<50L）供气。特气输送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器,彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器,可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空；多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断；专用氮气吹扫起源等等。VMB采用支路气动阀,氮气吹扫,真空辅助排空。惰性气体多采用半自动气瓶架,继电器控制,自动切换,手动吹扫,手动放空；VMB主管气动阀,氮气吹扫；支路气动阀,氮气吹扫,真空辅助排空。气体房和抽风系统根据气体性质进行分类。
大宗特气供气系统
大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等）,100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3）,发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大,采用先进的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出很严格的要求。
这些工厂的特种气体的供给,除了普通钢瓶（50L及以下）包装的特种气体外,还有多种类的特种气体都普遍采用大包装容器,由此它们被称为大宗特气,包括Y-钢瓶（450L）,T-钢瓶（980L）,集装格（940L）,ISO罐（22,500L）,鱼雷车（13,400L）等。
大宗特气供应系统（BSGS）采用全自动PLC控制器,彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器,可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空；多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断；专用氮气吹扫起源等等。特种气体采用独立气源,多用点采用VMB或VMP分路供应,VMB或VMP采用支路气动阀,氮气吹扫,真空辅助排空等。由于BSGS气源总量大,多采用独立的气体房,独立的抽风系统
