特气管道系统不锈钢管径的计算

特气管道系统管径的选择是基于气体的大小流量,气体压力值对计算的巨大影响不可忽视。此外,管道中氧气的流速较低,可选择8m/s。

在芯片工厂的设计中,工艺设备的气体消耗通常有两个值,一个是峰值,另一个是平均值,对于不同的设备,峰值与平均值之间的差异是完全不同的。那么计算管道直径的基准是什么流量？沃飞这里的技术提供了一些自己的设计经验供参考:

首先,芯片厂工艺设备的运行模式是间歇性的。在某一设备的运行过程中,当气体消耗达到峰值时,会有一段短暂的时间,然后气体消耗会下降甚至为零,导致峰值与平均值相差很大,甚至出现几何级数的差异。

对于主管道,所有工艺设备峰值之和流量可乘以系数(一般为0.7-0.8)作为流量值,因此计算出的管径基本满足供气需求。由于FAB中的所有工艺设备不可能同时达到气体消耗的峰值,因此没有必要使用总峰值流量作为计算基础。管径过大只会浪费钱。

对于支管甚至支管,需要根据实际情况进行具体分析。如果支管中有更多的气点,可以使用主要的处理方法。如果用气点不多甚至只有一个,用用气点的总峰值流量计算更可靠。