特种气体控制流程系统展示图
电子特气管道系统是指半导体、集成电路、平板显示、新能源、光纤、微电子等制程工艺中用到的特种制程工艺气体的供气系统。
系统一般由气瓶房供气端和洁净室用气端组成,气瓶房所用到的设备有特气柜,特气柜,大宗气罐和尾气废气处理设备组成,洁净室用气端一般由VMB阀门分配箱,VMP阀门盘组成,主要作用是分配气体到工艺设备。

电子特气管道系统都需要安装GDS气体探测报警系统,GDS和供气系统组成联动作用。
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