随着太阳能电池、半导体、微电子等行业的日新月异,其行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的尾气废气也在不断增加,特气系统中尾气废气处理问题也慢慢成为一个不容忽视的问题,对其配套项目也提出了更高要求。

特种气体尾气现状

尾气作为特气系统的衍生物,是不可避免的存在。在过去,很多高校实验室由于用气量不大,建设单位的业主没有充分意识到尾气的排放问题,但随着更多半导体工厂涌现,生产用特气尾气的排放越来越多,引起了重视。那么怎么排放,如何排放成为摆在很多用户面前的问题。今天由 的工作人员为大家介绍一下。

特气系统尾气排放处理装置的处理方法

依据废气处理的特性,在处理可分为四种处理方式：

1.水洗式（处理腐蚀性气体）

2.氧化式（处理燃烧性；毒性气体）

3.吸附式（依照吸附材种类处理对应之废气）

4.等离子燃烧式（各类型废气皆可处理）

各类型之处理皆有其优缺点及其适用范围,处理.方式水洗时,设备便宜处理方式简单,仅能处理水溶性气体；电热水洗式应用范围较水洗时,运转成本高；干式处理效率佳,不适用于容易堵塞或气体流动。

特气系统尾气排放处理装置的选择须知

尾气对环境或人体皆具有一定的危害性必须防止其直接排放大气中。所以,一般半导体厂都已加装大型中央废气处理系统,但此系统仅以水洗涤废气,故其应用范围仅限于处理水溶性气体,无法适应日新月异且分工细微的半导体工艺废气。

因此必须依据各工艺所衍生出的气体特性种类,选择搭配相对应的废气处理设备才能有效解决废气问题。

由于工作区域多半离中央废气处理系统远,常因气体特性导致管路中结晶或粉尘堆积造成管路堵塞后导致气体泄漏,严重者甚至引起爆炸,无法确保现场工作人员之工作安全。因此在工作区域,尾气处理装置应靠近GR、GC等特种气体设备布置。或配置适合工艺气体特性的小型废气处理设备(Local Scrubber),以减少在工作区域滞留的废气确保人员安全。

以上,就是关于特气系统中尾气处理装置处理尾气的方法和要注意的地方,希望对您有用,感谢您的阅读！