特气系统是用于保证特种气体安全使用的系统,大致由特气设备、特种气体管道和使用终端三部分组成,其中,特气柜是特气系统的核心设备,关系着稳定输送气体、保证特种气体的使用安全和人员安全等功能。

特种气体的气体性质可以满足行业的工艺需求,被广泛应用于半导体、电子、液晶、光伏和太阳能电池等行业领域,但同时,特种气体大多都是危险性气体,如SiH4、NF3等。所以保证特种气体安全使用,是特气系统存在的意义,那特气柜在这里面起到什么作用呢？

沃飞WOFLY特气柜（GC）是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性特种气体供应而设计的特气设备,按类别可分为：全自动、半自动和手动操作。沃飞WOFLY全自动特气柜（GC）基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断（当设定报警信号被触发时）。

沃飞WOFLY全自动特气柜（GC）以PLC为控制主体,配合触摸屏进行系统显示和设定,实现设备安全有效的运行。其内部PLC程式设计的安全联锁功能、高纯阀件的合理选择和布局,既满足了半导体工艺生产过程中对特殊气体连续供给和高纯度的要求,同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。

沃飞WOFLY全自动特气柜（GC）拥有SIME 2认证,在产品品质和功能都是可以信赖和放心的,还可根据不同的气体特性和气体使用要求,搭配不同的盘面设计,可以满足客户的行业需求。

综上,特气系统工程是一项比较重要又危险的工程,特气柜是关系其中大部分功能的核心设备,没有特气柜的特气系统工程是不完整的。感谢您的阅读,更多特气系统详情,请关注我们！