随着半导体产业的蓬勃发展,特气设备越来越多的应用于IC芯片生产、镀层、实验室科研等项目中。其中,特气柜是专门为了应对易燃易爆、腐性、毒性等危险特种气体供应而设计出来的一种供气系统。

高纯工艺系统电子特气设备（特气柜）

类型：可分为单钢瓶/ 双钢瓶/ 三钢瓶特气柜

1.  单钢的设计通常使用于研究机构或实验室等；

2.  双钢与三钢常用于量产工厂。

特气柜设备设计：

沃飞WOFLY全自动特气柜（GC）采用PLC控制,触控屏为人机界面,通过设备安装的压力传感器、气动阀、过流量计等装置,进行系统显示和设定,实现设备安全有效的运行。其内部PLC程式设计的安全联锁功能、高纯阀件的合理选择和布局,既满足了半导体工艺生产过程中对特殊气体连续供给和高纯度的要求,同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。

沃飞WOFLY全自动特气柜（GC）基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断（当设定报警信号被触发时）。拥有SIME S2认证,报警侦测警报功能齐全,在产品品质和安全上都是可以信赖和放心的,还可根据不同的气体特性和气体使用要求,搭配不同的盘面设计,可以满足客户的行业需求。

以上就是关于高纯工艺系统电子特气设备特气柜的简单介绍了,感谢您的阅读！