半导体工厂在制程过程会产生废气,超高纯电子特气系统的使用也会有特气残留,这些废气/尾气如果直接排放到空气中会造成污染,破坏环境,深圳沃飞科技设计并提供特气尾气处理设备从而成功解决这个问题。

吸附式尾气处理设备的工作原理：

制程过程产生的废气在风机压力下由入气口管道进入主吸附桶,废气中需要处理的气体组分在主吸附桶中被吸附剂吸附处理,吸附后的废气经变色球检验后从出气口排出,变色球的指示剂会随着氢键之浓度增加度的不同产生颜色的变化,通过的气体是中性气体,不变色,由出气口排出（PFCs不能用变色球辨别,因为它本身是中性气体）。

吸附式尾气处理设备的性能特点：

1.以吸附桶完全处理设备尾气;

2.没有明火、无尘室内不产生火源;

3.节省能源、没有高耗能的需求;

4.不需要耗用水资源,没有废水处理问题;

5.确保尾气处理的安全性处理过程中没有危害；

6.妥善处理废料,不影响地球环境。

吸附式尾气处理设备吸附材处理效率：

特气尾气处理设备的介绍就是上面这些了,特气是具有易燃易爆、剧毒、腐蚀性等危险性的特种气体,如果未经处理直接排放,是不被允许的,会对环境造成很大的污染。保护环境,从废气处理做起,从沃飞做起,从你我做起。