在半导体制程行业中,芯片的生产要经过几百道工序,会使用到大量的特种气体。而特种气体大多易燃易爆、剧毒、腐蚀性的气体,为了安全输送和使用这些危险性气体,半导体厂中会安装电子特气系统,配置电子特气柜GC、气体分配箱VMB和特气泄漏监测报警器等特种设备。

因特种气体的特殊性,承载特种气体的气瓶柜体须为防爆柜体,同时为保证半导体制程工艺中特种气体的稳定供气和安全,应具备多种功能,如柜内气体泄漏侦测报警、PLC面板控制、全自动吹扫等,提高使用安全系数,有效的保护生产安全和人员的生命安全。其次,半导体行业配置电子特气柜需要拥有SEMI S2认证。

SEMI S2的对象是针对半导体制程设备的,是关于环境、健康、安全方面的标准,也即为EHS标准,因为半导体行业涉及到很多特种气体、化学品及电气、游离及非游离的辐射,如果处理不好,下游用户在使用的时候就很容易导致事故甚至灾难,因此对设备厂商的设备产品如电子特气柜,拥有SEMI S2认证就显得极端重要。

由以上描述可知,在半导体制程工艺中,需要"安全"和"稳定"的使用特种气体,普通的气瓶柜无论是在材质上还是功能上都无法满足要求,所以半导体行业应配置有SEMI S2认证的电子特气柜。最后,感谢您的阅读！