电子特气管道系统,简称特气系统由存储、输送、分配、控制四类组成,其中"存储"是指气源部分（特气柜GC）,"输送"指配管方面（一般用双套管）,"分配"指二次配部分（气体分配柜VMB）,"控制"指监督控制部分（气体管理系统GMS）。是一种广泛应用于半导体、集成电路、光纤、太阳能电池等微电子行业的气路系统。

特种气体系统的GC特气柜/GR特气架的设置须符合下列规定:

1.气瓶柜与气瓶架可采用单工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶内置吹扫气源等多种结构配置；

2.不相容气体瓶不应放置于同一气瓶柜或气瓶架中；

3.气瓶柜、气瓶架应设置作业用气体面板；

4.系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核实；

5.气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压,柜内的排风换气次数不得低于300次/h；

6.自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置固定式气体泄漏探测器；

7.气瓶柜柜体 外壳钢板厚度不应小于2.5mm, 并应有防腐蚀涂层；

8.气瓶柜门应具备自动关闭功能, 并应配备防爆玻璃观察窗;气瓶柜的固定螺栓设计应满足当地地震设防烈度的要求；

9.气瓶柜、气瓶架应设置清晰明确的安全标识牌；

10.当气瓶柜放置在有爆炸和火灾危险环境时,其设计应符合现行国家标准《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB50058的有关规定。

开云app安装 是一种危险性很高的工程,是保证有着易燃易爆、腐蚀、剧毒等性质的特种气体的安全稳定输送的气体供应系统,所以,为了用气安全,在安装特气系统时,要严格遵守其中的一些规定标准。

以上,便是关于特气系统中特气柜和特气架该如何设置的介绍,感谢您的阅读！