在半导体、集成电路等微电子工业中,电子特气扮演着至关重要的角色,电子特气贯穿半导体各步工艺制程,直接影响集成电路的好坏、生产率和良品率。特气若不合格轻则导致产品严重缺陷,重则导致整条生产线被污染乃至全面瘫痪,是名副其实的电子工业"血液"。

但特种气体大都伴随着有毒、易燃易爆、高腐蚀性、高氧化性等性质,如H2Se、SIH4、CL2、NF3等,正确的设计和合理规范的选材施工才能保证安全。那么,如何才能安全、稳定、可靠地贮存和输送特种气体呢?基于此,有胆识、有实力的企业开始布局市场,以技术创新和丰富实践经验破解特气系统工程难题。

作为专业从事气体系统工程设计安装、技术服务咨询和配套产品生产销售为一体的国家高新技术企业,沃飞科技目前已组建起专业的各类设计、研发、工程及生产施工团队,拥有国家建筑机电安装工程专业承包资质、GC2压力管道设计安装资质,建筑施工安全生产许可证等专业资质,具备丰富的气体管道系统设计安装经验,已有长期的技术积淀和客户积累,实力强劲,在业内拥有良好的口碑。

围绕着半导体行业特气供应需求,沃飞科技基于"安全"的设计理念,遵循特气系统工程的设计安装、操作和维护等相应的严苛标准操作规程,将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制,通过管道、无二次污染、稳定地输送到工艺设备的用气点,很大程度上保障了气体的纯度、使用安全和稳定供气。

此外,尾气作为特气系统的衍生物,是不可避免的存在。随着半导体行业一路高歌,生产用特气尾气的排放越来越多,逐渐引起了重视。因而,沃飞科技严格依据各工艺所衍生出的气体特性种类,选择搭配相对应的废气处理设备,方才有效解决废气问题,有限减少了在工作区域滞留的废气,确保人员安全。

在半导体行业,沃飞科技特气供气系统有效地保护了电子特气纯度、避免外界杂质污染的同时,保证气体的使用安全、压力稳定和使用设备的精准供气,为半导体行业企业提供安全、高效、节能、舒适的实验环境。

随着芯片国产化率的提高,高品质关键电子特气国产化是大势所趋,这给电子特气系统工程的需求带来了持续、强劲的拉动,沃飞科技有望迎来加速成长的阶段。 未来,沃飞科技将继续秉承"技术为先、品质优良、服务一流、用户至上"的企业经营理念,不断创新科技,用更成熟专业的电子特气系统与服务,保证半导体制造的稳定性和良率,让半导体的"血液"流淌在"中国芯"。