近年来,伴随着智能移动设备、自动驾驶汽车、5G通信、环保新能源等行业迎来强劲的市场需求,我国半导体集成电路芯片、液晶面板、光伏等行业也开启了迅猛发展之路。与之相对应的是,作为这些行业制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料的电子特气,其用量也在不断增长。

由于实验需要,实验室经常需要采用易燃易爆有毒气体等特种气体。目前,实验室普遍采用集中供气,气体需要经过管路输送到使用终端。在这过程中,细节的重要性体现得淋漓尽致。可以说,特气系统的细节一旦出现问题,都可能导致气体不纯,生产出现问题,甚至引发事故。为了防止易燃易爆有毒气体泄露,需要采用更专业、安全的特气管道系统。

大"气"晚来迟,大"势"正兴起。作为专业从事气体应用系统工程的中坚力量,沃飞科技打造了安全可靠的电子特气管道系统,将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制,通过管道、无二次污染、稳定地输送到工艺设备,确保SiH4、NF3、C2易燃易爆的气体、有毒的气体、有腐蚀性的气体、纯度特别高（超过9.99%）的一些具有高危险性的特气储存、输送与分配。

沃飞科技深知电子特气管道系统安装的重要性,凭借着多年来精锐的技术力量和实践经验,为芯片半导体、微电子企业、光伏太阳能、生物制药、新材料等行业提供从供气系统排气处理、监视系统的综合管理系统,建立以安全为第一的特气管理输送系统。安全优质的工艺管道安装质量,是企业生存的关键,也是日后"安全生产"的保证。因此,沃飞科技对全过程进行控制,根据气体工艺要求进行各项测试,提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。

特气管道系统由储存、输送、分配、控制四类设备组成。每台设备均配有PLC控制、彩色触摸屏操作,带有温度、压力、烟雾、泄漏监控报警等功能,并可扩展地震监控报警；单台设备可以独成系统独立运转,也可将多合设备通过PLC或TGO连接组成大系统,在监控中心统一监控管理,其报警系统还可以与安监系统、消防系统对接,保证各生产工艺的电子特气的纯度和安全稳定供应,从根本上保证了电子器件的准确性。在施工结束后,沃飞科技还会进行压力检测,氦检漏,颗粒度和水分、氧分测试。

十四五规划以"科技自主自强"为战略支撑,将进一步加大对科技前沿领域集成电路全产业链的攻关力度。伴随着电子行业一路高歌,沃飞科技将利用自身丰富的研发设计能力,贴近客户应用并不断创新,全面覆盖先进工艺设备端以及配套产品服务,通过提升技术突破和产能扩张的节奏,抢抓市场机遇,全力支持国内电子特气行业加快发展,早日实现集成电路制造厂电子特气综合供应。