在半导体、集成电路、太阳能光伏、液晶、微电子等行业领域中,特种气体输送系统是电子工厂中危险性重大的设施或场所。特种气体是有着易燃易爆、剧毒、腐蚀性等危险性质的气体,一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员、厂房、设备的严重损失。

如特种气体中的硅烷(SiH4)为自燃性,一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应,开始燃烧。砷烷为剧毒性,微量泄漏就可能导致人员的生命危险。因此,对系统设计的安全性要求十分严格,其中关于气体检测报警系统的设置是十分有必要的,避免气体泄露等危险发生。

特种气体检测装置种类：

(1) 自燃性、易燃性气体检测采用催化燃烧型检测装置、半导体检测装置、电化学检测装置。

(2) 毒性气体检测采用电化学检测装置。

(3) 根据使用场所的不同确定不同特种气体采样方式,正确选用扩散式检测装置、单点或多点吸人式气体检测装置。

特种气体检测装置的安装位置规定：

1.自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处；

2.生产工艺设备的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体阀门箱的排风管口处,工艺设备的排风管口处；

3.生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处；

4.惰性气体间可能产生窒息的区域；

5.自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体设备间；

6.其他可能发生泄漏的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体的环境。

7.当特种气体相对密度小于或等于0.75时,特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处。当特种气体相对密度大于0.75 时,特气体探测器应设置在释放源下方离地面0.3m~0.5m处。

以上,便是关于特种气体输送系统中气体检测报警装置的安装位置的简单介绍,希望能您带来帮助,感谢您的阅读,更多气体资讯敬请关注我们！