特气站房的分类

特种气体在半导体行业应用比较多,一些用气量大的工厂需要建立特种气体站房,特种气体在分类和设计上需要注意很多问题。本文主要讲特气站房的分类。

特气体行业应用现状

目前,在国内外大环境形势下,半导体产业如火如荼的发展。一方面,受美国等发达国家制裁,国内半导体行业遭遇了产品供应的难题,另一方面,国家大力扶持发展国有芯片和技术,很多新建厂房在大陆开花结果,星火燎原。那么建厂初期如何进行气站的分类,一方面要结合现实情况,一方面要符合国标规定。
特种气体设计要求

特种气体应根据其物理化学性能及安全特性进行分类和工程设计。

特气站房分类

沃飞科技根据特气设计案例中,结合GB-50646-2011规范总结出特气站房的分类：

特种气体站房分类规定

1、可燃性特种气体间应为甲类;

2、毒性气体间、腐蚀性气体间、氧化性气体间应为乙类;

3、惰性气体间应为戊类;

4、生产厂房内的特种气体间根据气体性质宜分为可燃性气体间、毒性气体间、腐蚀性气体间、惰性、氧化性气体间等。

5、硅烷、氨气等大宗特种气体系统的设备应布置在独立的特种气体站内。