大宗特种气体供气系统的应用和介绍

大宗特种气体供气系统介绍（集成电路、太阳能电池、LED、液晶显示）

大宗特种气体供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等）,100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3）,发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、NF3）、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大,采用先进的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安,全生产提出严格的要求。

上述工厂的大宗普通气体多采用现场制气(On-site)或工业园区管道(Pipeline)集中供应方式,一个年产5万片的8英寸 超大规模集成电路厂高纯氮气的需求超过5,000Nm3/h,发光二极管的磊晶工序线和硅外延生产线的氢气需求超过100Nm3/h。

除了普通钢瓶（50L及以下）包装的特种气体外,还有多种类的特种气体都普遍采用大包装容器,由此它们被称为大宗特气,包括Y-钢瓶（450L）,T-钢瓶（980L）,集装格（940L）,ISO罐（22,500L）,大灌车（13,400L）等。

大宗特种气体供气系统（BSGS）采用全自动PLC控制系统,彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器,可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空；多重安,全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断；专用氮气吹扫起源等等。特种气体采用单独气源,多用点采用VMB或VMP分路供应,VMB或VMP采用支路气动阀,氮气吹扫,真空辅助排空等。由于BSGS气源总量大,多采用单独的气体房,单独的抽风系统。

是一家从事气体应用系统工程：电子特气系统、实验室气路系统、工业集中供气系统、大宗气体（液体）系统、高纯气体及特种工艺气体二次配管系统、化学品输送系统、纯水系统提供从技术咨询、整体规划、系统设计、选定设备、预制组件、项目现场安装建设、整体系统检测等全套工程技术服务和配套产品于一体的高新技术企业； 荣获"高新技术企业"认定并取得证书。

工程项目覆盖半导体、集成电路、光电、新能源、微电子、生物医药、科研所、标准检测等高科技行业；为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案与全国各大院校科研所合作研发的多个实验室项目,并取得了可喜的成绩。同时为众多高新技术企业和上市企业提供了优良的气体应用系统服务,保障其生产和设备的可靠运行！

同时公司拥有奥飞克AFK 、Afklok 、沃飞 等品牌,自主研发生产的气体混配器、特气柜、气体汇流排、VMB阀门箱、气体减压器、管件接头、阀门仪表等产品畅销于全球26个地区和国家,并获得了多项发明专利,为了追求更好品质并给客户提供更高更保障的技术,严格按照ISO9001标准执行各项管理。

以上就是沃飞科技大宗特种气体供气系统的应用和介绍