电子特种气体管道系统的配置规范及要求

电子特种气体管道系统非常讲究安全,对设备配置有很多规范,在操作设计上也有很多的要求,这里主要介绍下电子特种气体管道系统的配置规范及要求。

特种气体输送系统概述

在现代半导体、科研实验室、综合厂房的集中供气系统中,气瓶柜、气瓶架已经成为钢瓶气体的标配,那么这些GR、GC的配置有什么要求呢?相信很多业主和用户并没有一个清晰的概念,只有了解了规范化的要求,才能在厂房、实验室的建设中合理规划布局、安全使用。

特种气体输送系统设备配置规范

1、GC、GR可采用单工艺气瓶外置吹扫氮气(源)瓶(单瓶式)、双工艺气瓶外置吹扫氮气、双工艺气瓶内置吹扫氮气等多种结构配置。

2、GC、GR 应设置作业用气体面板。

3、系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核实。

4、气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压,柜内的排风换气次数不得低于300次/H 。

5、GC板材厚度不得低于2.5mm,并有放腐蚀涂层。

6、GC门应具备自动关闭功能,并配备防爆玻璃观察窗,地脚螺栓设计应满足当地地震设防烈度的要求。


特气系统安全要求

1、不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中。

2、自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体泄露侦测器。

3、GC、GR应设置清晰明确的安全标识牌

以上就是沃飞科技为大家讲解的电子特种气体管道系统的配置规范及要求