特气系统制程中产生的尾气如何处理？

沃飞科技专业设计安装特气系统,特气尾气处理系统,提供一站式特气系统整体解决方案,为客户打造一个安全的特气使用生产环境！

随着半导体行业的蓬勃发展,对其配套项目也提出了更高要求。特种气体供应没有形成有效的系统,钢瓶凌乱,管理混乱,不相容气体混放等问题比较严重,极大的影响到用气安全。那么特气 中气体尾气如何处理?今天由沃飞科技的技术人员为大家介绍：


特种气体对身体健康以及环境都会产生很大的危害,如何处理特气尾气,用什么设备处理,这里将会进行深入介绍。

特种气体尾气现状

尾气作为特气系统的衍生物不可避免的存在。过去,在很多高校,由于实验室用气量不大,建设单位的业主没有充分意识到尾气的排放问题,随着更多半导体工厂雨后春笋的涌现,生产用特气尾气的排放越来越多的引起了重视。那么怎么排放,如何排放成为摆在很多用户面前的问题。

特气系统尾气排放处理装置的处理方式：

Scrubber尾气处理装置的类型,应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择,不相容特种气体应分别设置尾气处理装置;

Scrubber尾气处理装置应靠近GR、GC等特种气体设备布置;

特气系统尾气处理方法宜采用干式处理吸附、湿式洗涤、加热分解处理、燃烧处理、等离子分解处理、稀释处理及以上几种方式的组合。