高纯气体管道施工方案

一、前言
随着我国半导体、制芯业的发展,高纯气体管道的应用也越来越广泛,象半导体、电子、医药、食品等行业都不同程度的使用了高纯气体管道,因此高纯气体管道的施工对于我们来说也越来越重要。

二、适用范围
本工艺主要适用于电子、半导体厂房的气体管道安装、测试,焊接薄壁不锈钢气体管道,同时也适用于医药、食品等厂房的洁净管道施工。

三、工艺原理
根据工程特点,工程的施工前后分为三个步骤,每一步都要经过严格的质量和洁净度检查,第一步是管道的预制,为保证洁净要求,管道的预制一般是在1000级的预制间内进行；第二步是现场安装；第三步是系统的测试,系统测试主要是对管道内的尘埃粒子、露点、含氧量、碳氢化合物的含量进行测试。
四、主要施工要点

（一）施工前的准备
1、组织劳动力,准备施工中使用的机具、设备。
2、搭建预制间,洁净度1000级。
3、施工图分析,根据工程特点及实际情况编制施工方案,做好技术交底。

（二）管道预制
1、由于高纯气体管道要求的洁净度较高,为了减少安装现场的焊接工作量,确保洁净度,所以管道的施工先在1000级的预制间中预制,施工人员应穿洁净服,使用的工机具应保证洁净,另外施工人员应有较强的洁净意识,施工过程尽量减少对管子的污染。
2、管道的下料管道下料使用的是专用的切管工具,切出的端面绝对和管轴心线垂直,切管时应采取措施避免外界的灰尘、空气对管子内部的污染,下好的料应分组编号以便于组对焊接。
3、管道焊接,管道焊接前应先编制焊接程序输入到自动焊机,试焊样品,样品合格后,方能焊接,进行完一天的焊接后,再焊样品,如果样品合格,由于焊接参数一直储存在焊机里,自动焊机焊接时又非常稳定,所以焊缝质量也是合格的。焊接质量由微机控制,减少了由于人为因素对焊接质量的影响,既提高了工作效率,又能得到高品质的焊缝。
4、焊接工序

（三）现场安装
1、高纯气体管道的现场安装应整洁干净,安装人员必须戴洁净手套。
2、支架设置距离应符合图纸设计要求,每一固定点套上EP管专用的橡胶套。
3、预制好的管子运到现场,不能磕碰踩踏,不能直接放到地面上,担上支架后,立即上管卡。
4、现场的管道焊接和预制阶段管道焊接程序相同。
5、焊接完毕经有关人员对焊口样品及管道上的焊口检验合格后,贴焊口标签,填写焊接记录。

（四）系统测试
1、系统检测是高纯气体施工的最后一环,它是在管道压力试验、吹扫结束后进行。
2、系统测试使用的气体首先是合格气体,气体的洁净度、含氧量、露点及碳氢化合物应符合要求。
3、指标的检测是通过在管道里充入合格气体,在出口处用仪器测量,管道里吹出的气体合格了,说明这条管路指标合格了。

五、材料
高纯气体管道按其流通介质的工艺要求一般采用薄壁不锈钢管,通常采用316L（00Cr17Ni14Mo2）。主要有铬、镍、钼三种合金元素,铬的存在提高了不锈钢在氧化性介质中的耐腐蚀性,形成一层富铬氧化膜；而钼的存在则提高了不锈钢在非氧化性介质中的耐腐蚀性；镍是奥氏体的形成元素,它们的存在既提高了钢的耐腐蚀性,又提高了钢的工艺性能。

六、施工质量要求
1、工程施工执行的质量标准
⑴ 洁净室施工及验收规范       JGJ71-90
⑵ 洁净厂房设计规范    GB50073-2001
⑶ 工业金属 施工及验收规范       GB50235-97
⑷ 现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范GB50236-98

2、为保证工程质量,应采取下列措施
⑴ 工程技术人员负责施工计划、工程技术和洁净措施的制订,绘制预制加工图,并负责组织、指导全面实施,对施工质量负责。
⑵ 管工必须按规定的洁净、技术措施按图预制和安装,负责专用设备的正确使用和保养,负责做好各项测试准备工作和测试工作,负责管道的预制、安装达到质量标准。
⑶质量检验人员,应对管道预制、安装作业进行全面质量检查和控制,督促检查各项洁净措施的贯彻执行；检查确认预制安装质量、检查确认焊接前后的焊口样品；检查确认焊接记录和各种检测及其记录的正确性；并负责汇总和整理交工资料。
⑷ 发生质量事故,不得隐瞒,及时上报,查找原因并及时解决。

七、安全措施
1、严格执行《建筑安装工人安全技术操作规程》及沃飞公司的安全规章制度,组织工人学习,经考核合格后方能上岗。
2、高空作业,脚手架在超出地面两米（含两米）以上时,人员须系安全带,工具须放入工具袋内,脚手架必须围篱。
3、所有带电设备、带电工具必须有漏电保护措施,临时电缆、电线的接线须由专职电工实施。
4、动火作业应办理动火作业许可证,动火作业人员应持证上岗,并备好防火用品。
5、安全人员随时检查班组施工人员的安全情况,发现安全隐患及时排除