想要有一个优质的高纯气体管道系统,就要在高纯气体管道安装上下功夫。管道安装除了配管和附件材质的选择以外,最要做好的就是气体管道整体规划设计了。

所谓,磨刀不误砍柴工,优秀且全面的高纯气体管道安装设计能避免施工中很多问题。下面就让有多年从事气体管道安装经验的沃飞科技来分享一下管道安装的设计要点吧！

从气体性质和纯度考虑：

1)  对于不同特性的气体,应规划独立的供应区域。一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

2)  对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

3)  根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生"死空间"引起高纯气体的污染。

4)  管路中应减少不流动气体的"死空间",不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的安全、可靠运行和防止"死区"形成而滞留污染物,降低气体纯度。

从气体检测方面考虑：

1)  为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。

2)  在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10－9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器。

从经济性方面考虑：

管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4"～3/8"。

以上,便是沃飞分享的一些管道安装的设计经验,高纯气体管道安装前的整体规划设计影响着整个工程的质量和效率,将问题消灭于萌芽之中。感谢您的阅读,更多气体应用资讯,请关注我们！