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半导体制造气体 定期“体检”,沃飞科技为你支招!

2022-11-23 17:54:21        0


  伴随科技迭代发展以及生活需求的不断提高,人们现在对半导体芯片的需求急剧增加。市场对半导体芯片生产技术与生产环境要求进一步提高,这对半导体晶圆制造厂提出了越来越多的要求,定期“体检”将避免系统“隐疾”带来的风险和损失。


  众所周知,晶圆制造过程中的主要原材料包括半导体级硅片、光刻胶、光掩模、特种气体等。晶圆制造过程中使用的高纯气体与电子特种气体,被应用于光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入等关键环节,对芯片的成品率、性能以及寿命有着直接影响。当生产制造过程中,易燃易爆性的气体发生泄漏,很可能会引起燃烧爆炸;有毒有害的气体发生泄漏,则会对人产生直接的影响,造成中毒,严重者直接威胁生命安全。因此,流体系统的稳定运行,对半导体晶圆制造的工艺质量和生产安全至关重要。生产安全问题是可以通过专业的“体检”来避免,如按规范操作流体系统,定期防范检查等。





  无论“大病”还是“小病”,一切问题要从小抓起,检查结果要谨慎处理,这可以采用定期巡检或者专业技术培训等进行巩固。同时,产线升级改造前,应对原流体系统管路排布及连接形式进行必要的现场评估,避免原设计中存在的缺陷继续存留在升级后的产线系统中,作出相应的改善方案。


  作为气体应用系统工程一站式解决方案服务商,沃飞科技可为半导体产业客户提供从技术咨询、整体规划、系统设计、选定设备、预制组件、项目现场安装建设、整体系统检测等全套工程技术服务和配套产品的一站系统解决方案,让客户真正防患于未然。


  在气体 中,沃飞科技可为工艺设备商的现场服务工程师提供隔膜阀、减压阀等流体系统接头产品的安装培训,使其可以在现场快速识别各类接头产品,并按相应规范进行快速、正确、安全的安装。专业的培训可保证机台在日常维护的拆卸安装过程中,减少机台维护时间,提高生产良率,降低因操作失误而带来的泄漏风险。


  此外,沃飞科技可将现场工程师的技术专长、应用经验和行业知识带到您的工厂中,从而帮助您从流体系统中获得更多收益。权威认证的专家,可以帮助您提高运营绩效、减少成本和工时,并帮助您减轻安全、质量和环境风险。


  半导体晶圆制造过程有百余道工序,在各个环节中几乎都回涉及气体 。沃飞科技,能够从气体管道系统的设计、选型、安装、改造、维护上提供技术支撑,助您轻松应对半导体行业生产制造的更多挑战!

  

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